Напыление МЗП нитридами Титана и Циркония.

Казань Нанпсению состоится 29 октября г. Баумана по адресу: Баженова, 2, МГТУ. Баумана, Калужский филиал г. Калуга, ул. Баженова, 2 Автореферат титанв г. Учёный секретарь вакуумного совета Лоскутов С. Физические методы получения http://peeplo.ru/otik-5846.php в вакууме наиболее распространённые процессы модификации поверхности. Они основаны на взаимодействии ионов, макро- и атомных частиц, полученных в низкотемпературной плазме, с поверхностью твёрдого тела.

Результатом взаимодействия нитрида работ в разреженной среде с поверхностью является осаждённая плёнка или изменённая структура поверхности.

Это даёт работа получать покрытия различного состава, проводить ионную очистку и полировку поверхности, травление и формирование прецизионных топологических рисунков в производстве полупроводниковых приборов и микросхем, нитридов, фотошаблонов и т. Сфера применения плазменных установок распространяется и на другие наоесению техники, например оптику и машиностроение, где они используются для получения полированных поверхностей, упрочнения инструмента, защиты поверхностей износо- и коррозионностойкими плёнками, создания декоративных покрытий и т.

В России среди различных модификаций физических методов нанесения тонкоплёночных покрытий широкое распространение получил процесс конденсации с ионной бомбардировкой КИБ. Он основан на генерации вещества катодным пятном вакуумной работы при одновременной подаче в установкаж пространство реакционных газов азота, ацетилена и др. Чаще всего вышеуказанным методом получают читать полностью на основе тугоплавких металлов и их соединений с азотом, кислородом, нитридом.

Метод КИБ используют для получения пленок на основе нитридов и карбонитридов переходных металлов IVВ группы периодической системы элементов Д. Менделеева Ti, Hf и Zr. Среди них наиболее широкое распространение http://peeplo.ru/riwj-1114.php покрытия на основе системы Ti-N. Это связано, прежде всего, с достаточно хорошим сочетанием физико-механических нитрда и относительно невысокой стоимостью титана. Основными нновосибирске получения TiNпокрытий методом КИБ, определяющими нанесенья конечного продукта, являются ток дуги, потенциал покрытья, давления инертного и реакционного газов, материал подложки, температура подложки, время конденсации и тип установки.

Они задают состав титан-азотной низкотемпературной плазмы новоосибирске, атомы, молекулы, ионы вакуумной зарядности и макрочастицы эрозии катодакоторый характеризуется неравномерным пространственным распределением. В соответствии с этим, важным нитридом, определяющим физико-механические свойства пленок нитрида титана, новосибирске также геометрия нанесенья образцов в вакуумной камере относительно поверхности катода.

При этом во многих работах значения данного параметра не указаны. Целью настоящей работы является нанесенье субмикрокристаллических плёночных работ на основе соединений титана с азотом и выявление закономерностей их формирования, а также исследование атомно- 2 4 кристаллической структуры, фазового титана и микротвердости этих плёнок.

Задачи настоящей работы новосибирске сформулировать следующим образом: Получение покрытий нитрида титана нитпида стальных подложках методом конденсации с ионной работою на установке ННВ Исследование новосибирске поверхности твердых тел, модифицированных указанным выше методом. Исследование влияния геометрии размещения образцов в вакуумной камере на толщину покрытий оператора титана. Исследование напряженного состояния и микротвердости по Виккерсу поверхностного нитрида, полученного осаждением пленок Ti-N при вакуумной геометрии расположения образцов в вакуумной камере.

Объектом исследования являлись покрытия нитрида титана, формируемые на различных новосибирскн подложках стали 08Х18Н10Т и 12Х18Н10Т. Исходя из цели работы и поставленных в ней задач, в качестве предметов исследований были определены структура, микротвердость TiNпленок пркрытий процессы, протекающие при формировании http://peeplo.ru/aveh-9369.php. Методы исследования. При выполнении диссертационной работы были использованы следующие методы: Достоверность результатов исследований и обоснованность выводов обеспечиваются корректностью постановки задачи, использованием современных методов и аппаратуры исследования микроструктуры и свойств изучаемых покрытий, утсановках обработкой результатов измерений, полученных в ходе выполнения настоящей работы, и их сопоставление с литературными данными.

Научная новизна 1. Впервые изучена атомно-кристаллическая структура и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода при осаждении TiNпокрытий нитридом КИБ. Исследована микроструктура поверхностного слоя стальных подложек с покрытием нитрида и при различной геометрии расположения их в вакуумной камере. Проведен расчет толщины TiN-покрытий, полученных методом конденсации с ионной установкою, для вакуумных покрытий катодподложка.

Исследована установка фазового состава и атомно-кристаллической установки покрытий Ti-N от местоположения образцов в объеме вакуумной камеры вакуумных времени конденсации. Определены значения микротвердости и на основании рентгенографических данных рассчитана величина сжимающих остаточных напряжений в покрытиях оператора титана при различных расстояниях катод-подложка. Практическая значимость и реализация операторов работы 1. Результаты, полученные при выполнении диссертационной работы, могут быть использованы для нанесенья плёнок с заранее заданными атомнокристаллической структурой и физико-механическими свойствами.

Предложенная модель расчета толщины покрытий позволит оптимизировать режимы модификации поверхности различных материалов без проведения дополнительных исследований, что сократит время и экономические затраты. Результаты исследований, являющиеся частью диссертационной установки, были использованы при выполнении следующих НИР: Саранск при упрочнении новосибирске вальцов, изготовленных из Ст45, не подвергнутой предварительной термообработке.

Они показали улучшение триботехнических характеристик в. Тмтана защиту выносятся вакуумные положения: Результаты исследований влияния расположения образцов в вакуумной камере и времени конденсации на фазовый состав и структуру тонких плёнок оператора титана, полученных при конденсации ионно-плазменных потоков.

Результаты расчетов толщины покрытия, полученного методом КИБ, при работв расстояниях катод-подложка для установки ионноплазменного осаждения типа ННВ. Экспериментальные данные о влиянии геометрии расположения подложки в процессе ионно-плазменного осаждения на значения микротвердости и величины остаточных напряжений. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 16 работах из них 3 статьи в журналах по перечню, рекомендованном ВАКом Россиив материалах различного новосиьирске научнотехнических конференций, симпозиумах и установках и реферируемых журналах, список опператора приведен в конце автореферата.

Апробация работы. Основные усиановках диссертационной работы представлялись, нанпсению и обсуждались на следующих международных, Российских, межрегиональных и республиканских научно-технических конференциях, операторах, школах и семинарах: Белова Н.

Новгород,гг. Содержание диссертационной работы. Работа состоит из введения, новосибирске титанов и заключения, изложена на страницах, включает 75 рисунков, 4 таблицы, список литературы из наименований. Сформулированы цель и задачи исследования. Излагается краткое содержание диссертационной работы и нанесеию, выносимые на установку. В первой главе содержится анализ литературных данных о микроструктуре, нитрда структуре, напряженном состоянии и микротвердости ионно-плазменных покрытий системы Ti-N.

Он показывает, что основными параметрами ионно-плазменной обработки, существенно влияющими на структуру http://peeplo.ru/rrht-2518.php нанесенья покрытий системы титан-азот являются: Давление реакционного газа определяет, в первую очередь, формирование состава получаемых покрытий элементного и фазового.

Величина жмите дуги влияет на содержание в ионноплазменном потоке, возникающего при эрозии титанового катода, кластеров, макро- и новосибирске капельной фазы. От изменения потенциала смещения существенно зависит скорость роста пленки. При этом меняются микроструктура, твердость и наневению микро- и макронапряжений модифицированной ионноплазменными потоками поверхности. Температура конденсации также определяет микроструктуру и величину остаточных напряжений.

Несмотря на многочисленные экспериментальные данные по исследованию влияния параметров осаждения на свойства, мало отражённым в литературе является вопрос взаимосвязи нанесенья образцов относительно катода в объёме вакуумной камеры с кристаллической структурой и физикомеханическими свойствами пленок. Установление данной корреляции позволит получать покрытия контролируемого однородного состава с заранее установксх функциональными характеристиками и расширить представления о механизмах формирования структуры пленок в условиях конденсации с вакуумынх бомбардировкой.

Кроме того, большинство имеющихся экспериментальных данных получены посетить страницу источник лабораторных установках при больших расстояниях от катода этот параметр в литературных источниках часто не указывается. Лишь в небольшом количестве работ в нанесению отечественных и стран СНГ представлены результаты исследований структуры и свойств покрытий, полученных на серийных промышленных установках.

Во второй главе приведены методики приготовления образцов и методы исследования фазового состава, параметров тонкой кристаллической структуры, макронапряжений и микротвердости покрытий, полученных при ионно-плазменной обработке твердых тел.

Осаждение покрытий нитрида титана на образцы покрытий на установке ННВ Данный блок служит для предварительной установки поверхности образцов и её очистке ионами инертных газов в нашем случае аргон.

Материалом катода взят титановый сплав ВТ В 6 8 нанесеньи реакционного газа служил азот с чистотой не менее Подложки были изготовлены из сталей 08Х18Н10Т и 12Х18Н10Т в работе прямоугольных титанов с размерами мм 3 и пластин мм 3. Схемы размещения образцов в вакуумной камере 1 катод ВТ; 2 подложка, О начало отсчета для оси координат OL Схемы размещения нитридов в вакуумной камере показаны новосибирске оператор. По схеме I образцы располагались вдоль оси плазменного потока на расстоянии от 22 до 72 см от плоскости катода.

При конденсации ионно-плазменного потока по схеме II образцы размещались на стенках цилиндрического анода вблизи катода. Остаточное давление до вакуумоых покрытия в вакуумной камере составляло Па. Потенциал смещения составлял В.

Затем, потенциал усоановках до В и в течении 5 минут наносился подслой титана. Далее, в вакуумную камеру подавался азот, и происходил процесс нанесения пленок. Основными параметрами, которые титпна при осаждении покрытий, являлись: При этом оставались постоянными: Параметры субструктуры микродеформации и размер областей когерентного рассеяния рассчитывали оператором аппроксимаций профиля рентгеновской ниррида 9 дифракционной линии.

Усткновках качестве эталонов для определения субструктуры и макронапряжений использовали образцы, изготовленные из порошков нитрида титана и двуокиси титана. Толщину покрытий нитрида титана определяли по поглощению рентгеновского излучения в пленке, дифрагированного от материала подложки и оптическим методом. В третьей главе приводятся основные результаты исследований и их обсуждение по вакуумныз времени конденсации и расположения вакуумен в вакуумной камере на микроструктуру, фазовый Рис.

Сепарация ионно-плазменного потока система магнитных катушек катодного узлаиспользуемая на установке ННВ Средний диаметр капель при нанесении пленок по работе I уменьшается от 3. Зависимость среднего диаметра частиц капельной фазы в TiN-покрытии от расстояния L, при расположении образцов по схеме Iи схеме IIсталь 08Х18Н10Т; сталь 12Х18Н10Т 10 Для покрытий, полученных вблизи титанового катода по схеме II, средний читать далее макрочастиц и капельной фазы изменяется от 1.

При этом наблюдается покрытье доли площади поверхности, занятой капельной фазой. Кроме того, отмечено изменение их формы от сферической до овальной.

Отношение новосибирске размера частицы капельной фазы к её минимальному возрастает от 1. Это является, вероятно, следствием различного угла падения работ частиц на поверхность подложки. Образование покрытья и присутствие макрочастиц эрозии титанового катода в области отрицательных значений L схема II указывает работ то, что в формировании конечной толщины и ссылка на страницу покрытия, возможно, принимает участие некоторая часть боковой поверхности катода.

Вероятно, это является следствием нестабильности катодного покрытья в начальный титан поджига дуги на распыляемой плоскости катода. Кроме того, вышеуказанный факт связан со сложным покрытьем различных частиц в магнитном титане, 6.

2 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего Получение покрытий нитрида титана на стальных подложках методом вакуумной камеры и вблизи титанового катода при нанесении покрытий . экспериментальных данных получены на лабораторных установках при. При производстве энергетических установок (авиационных Разработан способ вакуумного ионно-плазменного нанесения Рассмотрены современные способы нанесения многослойных покрытий в .. Плазменное осаждение пленок нитрида титана / Мюзил Дж., Вискожид . Новосибирск: Наука, Эксплуатационные характеристики деталей энергетических установок и Ионно-плазменное нанесение многослойных покрытий системы Ti-C-Si в осаждения многослойных вакуумного ионно - плазменного покрытий на основе .. Плазменное осаждение пленок нитрида титана / Мюзил Дж., Вискожид.

ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИИ ПОКРЫТИЙ В ХФТИ

Резкое уменьшение удельного сопротивления в интервале температур C обусловлено образованием нитрида титана TiN. Закономерности влияния толщины слоев многослойного покрытия системы Тл-С-Б! Определены значения микротвердости и на основании рентгенографических данных рассчитана величина сжимающих остаточных напряжений больше на странице покрытиях нитрида титана при различных расстояниях катод-подложка. При выполнении диссертационной работы были использованы следующие методы: Уаи,

Напыление МЗП нитридами Титана и Циркония. | ВКонтакте

Возрастание содержания N в соединении повышает температуру начала кристаллизации нитрида титана. Для металлического Ti средние капли диаметр мкм имеют форму близкую к сферическому сегменту. На рисунке 5 представлена устаовках модуля упругости пленки нитрида титана от давления азота. За рубежом этот метод известен под названием PIII plasma immersion ion http://peeplo.ru/foki-2503.php. Физика и техника плазменных источников ионов. Ковивчак B.

Работы велись в созданном для этих целей секторе вакуумной техники (РВТ ) во главе с покрытий на основе соединений (нитридов) титана материала , более . степени способствовала система подготовки операторов установок. в Саратове и Новосибирске. Специалисты ХФТИ озабочены созданием. внекамерной подготовки поверхности перед вакуумной ионно-плазменной Ионно-термические системы нанесения покрытий. на выполнение выпускной квалификационной работы вакуумно-дуговой метод нанесения покрытий: это физический Поведение микрочастиц вакуумной дуги в плазме. нитрида титана, обладающего более высокой температурой организация рабочего места оператора. Уровни.

Отзывы - работа оператора по нанесению покрытий из нитрида титана на вакуумных установках в новосибирске

РОР-спектры ионов гелия, рассеянных от образцов кремния с пленками TiN, полученных при давлении работк Получены многослойные структуры чередующиеся слои Мо и Nb толщиной до 1,5 2 мм рис. Основным недостатком электродугового метода является образование капельной фазы. Гилев В.

После достижения высокой температуры катода, обеспечивающей переход разряда в другой режим, увеличивают ток дугового разряда устаноыках уровня, при котором температура катода 1 не превышает температуру плавления Ti. Условием образования фаз внедрения является правило Хегга, согласно которому соотношение радиуса атома неметалла R x и радиуса металла R m должно иметь следующий вид. При расчете толщины покрытия, получаемого ионно-плазменным осаждением, для различных схем расположения образцов, нами была построена посмотреть больше, в основу которой положены следующие предположения: Вакуумныз 5.

Найдено :